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日本yamato大和等離子清洗機PDC200/PDC210
| 產品型號： |
PDC200/PDC210/PDC510 |
| 品 牌： |
日本大和yamato |
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| 所 在 地： |
廣東深圳 |
| 更新日期： |
2020-10-29 |
日本yamato大和等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510
研究開發用*適合等離子清洗機
主要特點：
RIE模式標配（DP切換為選購）
等離子的均應性高操作簡單的液晶觸摸屏控制面
用途：
CSB/BGA/COB基板的等離子處理
有機膜和金屬氧化膜的除去
印刷電路基板的干洗
界面活性處理
技術參數：
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型號
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PDC200
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PDC210
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PDC510
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模式
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RIE模式（DP選配）
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DP模式
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DP/RIE切換方式
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電極構造
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平行平板電極（固定）
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高頻輸出功率
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MAX300W
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Max 500W
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頻率
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13.56MHz
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控制方式
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自動聯動，液晶觸摸屏控制
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反應室尺寸
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400×250×150mm
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500×300×200
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電極尺寸
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250×170mm
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400×200mm
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反應室材質
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一次性一體成型鋁腔（防腐蝕，可對應CF4）
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反應氣體
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2系統（Ar/O2）
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填充氣體
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N2/潔凈干燥空氣
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反應氣體流量控制
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流量計
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聚合控制器
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真空泵
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另行選配
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油回旋真空泵（排氣量345L/min）
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油回旋真空泵（排氣量500L/min）
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氣體導入口
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反應氣體2套，填充氣體1套
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外型尺寸
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540×600×600mm
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540×600×600mm
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700×700×700mm
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電源
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單相AC100V 15A 50/60Hz
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三相AC100V 15A 50/60Hz
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日本yamato大和等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510
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